[포토뉴스]반도체 산업용 다이아몬드 공구 CMP 공정 '패드'서 이물질 제거…최적 상태 유지 새솔다이아몬드공업이 ‘세미콘 코리아 2024’에서 반도체 산업용 다이아몬드 공구를 소개했다.CMP(Chemical Mechanical Polishing)는 웨이퍼 표면의 굴곡을 매끈하게 가다듬는 공정이다. 패드로 요철이나 굴곡이 발생한 웨이퍼의 박막 표면을 연마하는 것이다. 새솔다이아몬드공업의 ‘CMP 패드 컨디셔너’는 CMP공정의 ‘패드’를 최적의 상태로 만드는 공구다. 관계자는 “웨이퍼를 연마하는 과정에서 패드에 웨이퍼 찌꺼기, 슬러리 찌꺼기 등 이물질이 붙는다”면서 “패드에서 이물질을 제거해 최상의 상태로 유지하는 공구다”라고 설명했다.또한 “삼성, SK하이닉스 등 국내 반도체 기업에 납품하고, 중국‧미국 시장 점유율은 80%에 달한다”면서 “중국이 CMP 패드 컨디셔너 국산화를 추진 중이지만, 기술을 쉽게 따라잡지 못하고 있다”라고 말했다.한편, ‘세미콘 코리아 2024’는 서울 코엑스에서 지난달 31일부터 이달 2일까지 열렸다.

[포토뉴스]반도체 산업용 다이아몬드 공구

CMP 공정 '패드'서 이물질 제거…최적 상태 유지

기사입력 2024-02-03 11:07:58

CMP 패드 컨디셔너

[산업일보]
새솔다이아몬드공업이 ‘세미콘 코리아 2024’에서 반도체 산업용 다이아몬드 공구를 소개했다.

CMP(Chemical Mechanical Polishing)는 웨이퍼 표면의 굴곡을 매끈하게 가다듬는 공정이다. 패드로 요철이나 굴곡이 발생한 웨이퍼의 박막 표면을 연마하는 것이다.

새솔다이아몬드공업의 ‘CMP 패드 컨디셔너’는 CMP공정의 ‘패드’를 최적의 상태로 만드는 공구다. 관계자는 “웨이퍼를 연마하는 과정에서 패드에 웨이퍼 찌꺼기, 슬러리 찌꺼기 등 이물질이 붙는다”면서 “패드에서 이물질을 제거해 최상의 상태로 유지하는 공구다”라고 설명했다.

또한 “삼성, SK하이닉스 등 국내 반도체 기업에 납품하고, 중국‧미국 시장 점유율은 80%에 달한다”면서 “중국이 CMP 패드 컨디셔너 국산화를 추진 중이지만, 기술을 쉽게 따라잡지 못하고 있다”라고 말했다.

한편, ‘세미콘 코리아 2024’는 서울 코엑스에서 지난달 31일부터 이달 2일까지 열렸다.

[포토뉴스]반도체 산업용 다이아몬드 공구

CMP 공정 '패드'서 이물질 제거…최적 상태 유지

주요기사

스마트시티 시장, 2033년 4조 달러 규모 성장 전망돼

태양광 발전소 ‘디지털 전환’, IoT 장비로

[기자수첩] 제일 무섭다는 ‘불확실성’이 한국경제의 기조가 되나

트럼프발 강달러에 계엄령까지…추락한 원화, “내년도 가시밭길”

내년에도 첨단산업 수출 경쟁 치열…韓 경합국 1위 ‘일본’

내년 반도체 두 자릿수 성장…“공급망 변화·첨단 패키징 대응해야”

2기 트럼프 행정부, IRA 건드릴 수 있을까?

많이 본 뉴스

[모바일 On] 애플 아이폰SE4, 자체 5G 모뎀 달고 내년 3월 선보인다

[12월 6일] 국제유가 하락 속, 연준 금리 인하 단행 가능성(LME Daily)

[포토뉴스] 한국 데이터 산업 발전 공로자, 한자리에 모여

[12월 9일] FOMC 앞둔 연준 인사, 블랙아웃 기간 돌입(LME Daily)

2024 데이터 진흥주간 개막, “데이터, AI시대 연료 역할”

“자율주행, AI 기술의 총체”

추천제품

산업전시회 일정

기업뉴스

알에스오토메이션, 로봇모션분야 국내최초 월드클래스300 과제 우수 평가

[포토뉴스] “산업계 디지털화 관련 업계, 새로운 기대감으로 2025년 맞이하자”

LME 국제비철금속 시세