[산업일보]
반도체 산업용 싱글웨이퍼 습식 기술 개발업체인 SEZ가 국내의 한 제조업체로부터 자사의 다빈치(Da Vinci) 클리닝 툴을 대량으로 수주했다고 2일 밝혔다.
DV-38F 시스템은 90nm 공정 기술이 적용되는 300mm 메모리 디바이스 제조에서의 BEOL(back-end-of-line) 폴리머 제거에 이용될 예정이다.
SEZ는 기존의 배치 툴을 다빈치(Da Vinci) 제품으로 대체함에 따라 더욱 강력한 경쟁력을 갖추게 됐다. 이 제품은 양산용 애플리케이션의 중요한 요소인 생산성, 비용 및 수율면에서 이점을 제공하도록 설계됐다.
SEZ의 헤르비그 페취니그(Herwig Petschnig) 아태지역 담당 COO는 "SEZ 다빈치 툴은 90nm 이하 공정 기술을 적용한 300mm IC 양산의 특성을 최적화 할 수 있는 이점을 제공한다"며 이 툴은 양산 환경에서의 다양한 화학물질을 사용할 수 있는 유연성을 제공해 전체 클리닝 비용을 절감할 수 있다고 설명했다.
특히, DSP+(dilute sulfuric peroxide plus)와 같은 새로운 화학물질 적용이 가능하다"고 덧붙였다.
SEZ 그룹의 커트 라켄부처(Kurt Lackenbucher) COO는 "비용 절감, 수율, 생산성 향상을 위한 업계의 노력이 강화되는 추세에 힘입어 다빈치 플랫폼은 기대 이상으로 도입이 늘어나고 있는 추세“라며 지난해 2/4분기에 처음으로 다빈치툴을 공급한 이래 향후 SEZ 전체 매출액의 50% 이상을 차지할 것으로 예상된다고 밝혔다.
미디어다아라 김원정 기자(news@daara.co.kr)
SEZ, 다빈치 툴 도입 증가세 두드러져
DSP+ 등 새로운 화학물질 적용 가능
기사입력 2005-03-02 11:25:00
