기계연, 나노와이어 이용 기능한 현미경 탐침 기술 개발성공

[산업일보]
미세 반도체 소자 및 나노소재의 전기적 특성을 측정하는 현미경 탐침(Microscopy tip)에 나노와이어를 이용한 기술이 국내 연구진에 의해 세계 최초로 개발됐다.

한국기계연구원(원장 이상천)은 나노융합기계연구본부 한창수 박사(연구책임자)와 김준동 박사(실무책임자)는 전도성 나노와이어를 이용한 나노 구조물에 대한 표면 및 전자기 정보 동시 수집 기술을 개발했다고 13일 밝혔다.

이 기술은 기존 현미경 탐침 제작에 필요한 고비용의 진공조건과 여러 단계의 미세 가공 및 공정을 생략할 수 있어, 저비용으로 미세 구조물에 대한 전기/자기의 정보를 얻을 수 있는 것이 특징이다.

이번에 개발된 나노소재를 적용한 기능성 나노 소재 현미경 탐침 기술은 머리카락의 1/1000-1/10000 크기의 나노와이어 (Nanowire)를 현미경 탐침으로 이용한 것으로, 요소 기술인 전계 (Electric field)를 이용하여 나노와이어를 위치시키는 방식이다.

이 기술은 상압에서 제작가능하면서도, 공정의 단축을 통해 제작 비용을 기존에 비해 1/10정도 획기적으로 절감할 수 있다.

기계(연) 김준동 박사는 “나노와이어를 이용하여 나노와이어 구조체에 대한 표면 및 전기 정보를 얻은 것은 이번이 세계에서 첫 번째라고 판단된다”며, “이 기술은 학문적으로는 기능성 나노 소재를 이용한 나노 구조체를 실현한 것으로 나노 소재를 이용한 기능성 구조체(Functional nanostructure)의 제작과 적용을 확인한 것이기도 하다”고 밝혔다.

이번에 개발된 나노와이어 현미경 탐침을 이용해 나노와이어 배선의 특성을 평가가 가능하며, 나노구조물의 표면정보 뿐만 아니라 전기 정보도 함께 획득 할 수 있다.

이번 연구 결과는 영국의 나노분야 유명 저널인 나노테크놀로지(Nanotechnology)에 발표됐다.