설명 듣는 참관객
7축 스텝 모터로 구성한 반도체 검사 장비
[산업일보]
‘스텝 모터(Step Motor)’로 구성한 반도체 기판 검사 장비가 ‘세미콘 코리아 2024’에서 참관객의 관심을 끌었다.
서보 모터(Servo Motor)와 스텝 모터는 산업 자동화에 널리 사용된다. 서보모터는 정밀한 ‘움직임’이 가능하고, 스텝 모터는 ‘위치 선정’을 정확히 할 수 있다. 아날로그 시계의 초침처럼 정해진 각도를 ‘스텝을 밟듯’ 움직여 스텝 모터란 이름이 붙었다.
산요전기 주식회사 관계자는 “스텝 모터는 서보모터만큼 정밀하진 않지만 그만큼 저렴하다”면서 “의외로 반도체 공정도 서보모터만큼의 정밀성이 필요한 공정이 많지 않다”라고 설명했다.
또한 “스텝 모터만으로도 정밀한 기판 검사 장비를 만들 수 있다는 걸 보여주려 7축 스텝 모터 반도체 검사 장비를 만들어 전시했다”라고 말했다.
한편, 반도체 산업을 총망라한 ‘세미콘 코리아 2024’는 삼성동 코엑스에서 2일까지 열린다.