AKT의 7세대 PECVD 장비 ‘올해의 디스플레이 장비’로 선정 세계적인 LCD장비 업체인 AKT는 자사의 7세대 플라즈마 화학증착장비(PECVD)인 AKT-40K PECVD 시스템이 ‘올해의 디스플레이 장비’(ADY ; the Advanced Display of the Year 2005)로 선정됐다고 2일 밝혔다.ADY 어워드는 평판 패널 디스플레이 부문에서 최고권위를 자랑하는 상으로 일본에서 개최되는 평판 디스플레이 부문 박람회인 ‘파인테크 재팬(Finetech Japan)’에서 발표됐다. LCD 관련 학계, 산업계, 언론계의 전문가로 구성된 11명의 ADY어워드 선정 위원회는 AKT-40K PECVD 시스템의 뛰어난 필름 균일성과 생산성을 선정 이유로 밝혔다. 이번에 ADY 어워드를 수상한 AKT-40K 기술의 핵심은 AKT-APXL 공정 챔버 기술에 있다. 이 챔버 기술은 LCD 패널 제조사들이 기판 크기를 7세대 이상으로 확장할 때, 비용효율성을 높이면서도 최적의 공정 균일도를 유지할 수 있도록 설계 됐다. AKT-APXL 챔버를 이용하면, 7세대 기판 전면에 플라즈마 막두께 분포를 10% 이내로 균일하게 분포할 수 있으며 .공정가스의 종류에 관계없이 막증착 속도를 높일 수 있다.디스플레이 관련 마케팅 회사인 디스플레이 서치에 따르면, AKT는 2004년 PECVD 시장에서 시장점유율 1위를 차지했으며 2005년에는 업계 1위의 위치를 더욱 견고히 할 것이라고 평가했다.미디어다아라 김원정 기자(news@daara.co.kr)$$$$$

AKT의 7세대 PECVD 장비 ‘올해의 디스플레이 장비’로 선정

기사입력 2005-06-02 11:44:00

[산업일보]
세계적인 LCD장비 업체인 AKT는 자사의 7세대 플라즈마 화학증착장비(PECVD)인 AKT-40K PECVD 시스템이 ‘올해의 디스플레이 장비’(ADY ; the Advanced Display of the Year 2005)로 선정됐다고 2일 밝혔다.

ADY 어워드는 평판 패널 디스플레이 부문에서 최고권위를 자랑하는 상으로 일본에서 개최되는 평판 디스플레이 부문 박람회인 ‘파인테크 재팬(Finetech Japan)’에서 발표됐다.

LCD 관련 학계, 산업계, 언론계의 전문가로 구성된 11명의 ADY어워드 선정 위원회는 AKT-40K PECVD 시스템의 뛰어난 필름 균일성과 생산성을 선정 이유로 밝혔다.

이번에 ADY 어워드를 수상한 AKT-40K 기술의 핵심은 AKT-APXL 공정 챔버 기술에 있다. 이 챔버 기술은 LCD 패널 제조사들이 기판 크기를 7세대 이상으로 확장할 때, 비용효율성을 높이면서도 최적의 공정 균일도를 유지할 수 있도록 설계 됐다. AKT-APXL 챔버를 이용하면, 7세대 기판 전면에 플라즈마 막두께 분포를 10% 이내로 균일하게 분포할 수 있으며 .공정가스의 종류에 관계없이 막증착 속도를 높일 수 있다.

디스플레이 관련 마케팅 회사인 디스플레이 서치에 따르면, AKT는 2004년 PECVD 시장에서 시장점유율 1위를 차지했으며 2005년에는 업계 1위의 위치를 더욱 견고히 할 것이라고 평가했다.

미디어다아라 김원정 기자(news@daara.co.kr)

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