기계·장비·플랜트

Beckhoff, '공중 부양' 이송 기술 공개… 반도체 클린룸 '게임 체인저’

임지원 기자 2026.02.16

Beckhoff가 ‘세미콘 코리아 2026(SEMICON KOREA 2026)’에서 자기부상 방식의 평면 이송 시스템 ‘XPlanar’를 시연해 참관객의 이목을 끌었다. XPlanar는 타일 형태의 베이스 위를 자석 무버가 약 5mm 높이로 부상해 이동하는 방식이다. 관계자는 ..

케이엠, “파티클 제로 도전”… 초미세 공정용 클린룸 솔루션 공개

임지원 기자 2026.02.15

클린룸 청정용품 전문기업 케이엠(KM)이 ‘세미콘 코리아 2026’에서 차세대 반도체 공정의 수율을 결정짓는 고성능 오염 제어 제품군을 대거 공개했다. 특히 AI 반도체와 HBM 생산라인에 최적화된 고기능성 방진복과 와이퍼를 전면에 내세웠다. 관계..

한국미쓰도요, ‘세미콘 코리아’서 NIR 비접촉 3D 계측 장비 선보여

김대은 기자 2026.02.14

한국미쓰도요㈜(Mitutoyo)가 ‘세미콘 코리아 2026(SEMICON KOREA 2026)’에 참가해 미쓰도요의 NIR(근적외선) 광원을 탑재한 비접촉 3D 계측 장비인 ‘QV-NIR WLI PRO’를 출품했다. 장비는 광학 카메라 기반의 CNC 화상 측정기에 WLI(백색광 ..

TEL, ‘세미콘 2026’서 브랜드 파워 과시

임지원 기자 2026.02.14

글로벌 반도체 장비 기업 도쿄일렉트론(TEL)코리아가 ‘세미콘 코리아 2026(SEMICON KOREA 2026)’에 참가해 ‘모든 시작의 시작’을 주제로 반도체 혁신의 미래 비전을 제시했다. TEL코리아는 이번 전시에서 참가 기업 중 최대 규모의 부스를 운영하..

쎄믹스, ‘발열·공간·정밀도’ 3박자 잡은 아파트형 프로버 공개… “클린룸 효율 670%↑”

임지원 기자 2026.02.13

반도체 장비 전문 기업 쎄믹스(SEMICS)가 ‘세미콘 코리아 2026(SEMICON KOREA 2026)’에서 고성능 반도체 검사의 핵심 난제인 발열 제어와 공간 효율 문제를 동시에 해결한 ‘아파트형 그룹 프로버’를 선보였다. 쎄믹스는 이번 전시를 통해 고성..

디스코, 웨이퍼 절삭 폐수→초순수로 재활용…ESG 경영 강화

김대은 기자 2026.02.13

반도체 제조 장비 전문 기업 디스코(DISCO)가 ‘세미콘 코리아 2026(SEMICON KOREA 2026)’에서 초순수(DI Water) 재활용 장치 ‘DWR’을 선보였다. 장비는 반도체 웨이퍼 절삭·연삭·연마 등 가공 작업 후 발생하는 폐수를 초순수로 재활용한다. ..

인아그룹, "모터에서 로봇까지"… 반도체 자동화 토털 솔루션 과시

임지원 기자 2026.02.12

국내 자동화 부품 및 로봇 솔루션 전문 기업 인아그룹이 ‘세미콘 코리아 2026(SEMICON KOREA 2026)’에서 4개 계열사 역량을 총집결한 통합 전시관을 마련하고 미래 반도체 공정의 청사진을 제시했다. 인아오리엔탈모터는 반도체 장비의 소형화 요구에..

요꼬가와전기, 로봇·SMR·디지털트윈 ‘3각 편대’ 구축… 산업 DX 가속

김우겸 기자 2026.02.12

요꼬가와전기가 로봇 자동화, 디지털 트윈, 차세대 원자력 제어 시스템 등 첨단 기술 영역으로 사업 영토를 확장한다. 에너지와 공정 산업 전반을 아우르는 통합 솔루션 기업으로서 입지를 굳히겠다는 전략이다. 요꼬가와전기는 자율 플랜트 운영 플..

아센디아, 일체형 RF 전력 제어 솔루션 ‘Unity X’ 공개

김대은 기자 2026.02.12

반도체 RF 부품 전문 기업 아센디아(ASENDIA)가 ‘세미콘 코리아 2026(SEMICON KOREA 2026)’에 참가해 통합 일체형 RF(Radio Frequency, 고주파) 전력 제어 시스템 ‘Unity X’를 공개했다. 반도체 웨이퍼 제조 과정 중 식각(Etching) 공정에서..