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웨이퍼 연마공정 실시간 프로파일 제어 시스템

이강은 기자 2015.03.11

반도체 산업이 고도화됨에 따라서 생산하는 칩사이즈가 작아지고 각 단위공정의 공정마진이 줄어들고 있기 때문에 기존의 공정 제어 방식의 한계를 뛰어 넘는 고도화된 미세공정 컨트롤 기술이 필요하게 됐다. SK하이닉스㈜ 최준기 수석연구원은 ..

[TECH NEWS] 그래핀 한계 넘어서는 신물질 개발

홍보영 기자 2015.03.10

현재 반도체 재료로 사용되고 있는 실리콘은 고집적화를 통해 성능개선을 향상시켜왔으나, 공정이 미세해질수록 성능의 한계에 부딪혀왔다. 최근 국내 연구진이 꿈의 소재라 불리는 그래핀을 넘을 수 있는 신물질인 2차원 구조체(C2N-h2D c..

중이온가속기 초전도 가속관 국산화 성공

홍보영 기자 2015.03.09

세계 8번째 초전도 가속관 제작 기술확보에 성공함으로써 핵심 장치 국산화가 순항이 예상된다. 미래창조과학부(장관 최양희, 이하 ‘미래부’)와 기초과학연구원 중이온가속기 건설구축사업단(단장 정순찬, 이하 ‘사업단’)은 한국형 중이온가속기의..

첨단 계측 시스템, 다양한 문제 해결

홍보영 기자 2015.03.09

KLA-Tencor Corporation은 Archer™ 500LCM과 SpectraFilm™ LD10이라는 첨단 계측 시스템 2종을 출시했다. 이들 제품은 16nm 이하급 IC의 개발과 생산을 지원한다. Archer 500LCM 오버레이 계측 시스템은 생산 과정의 전 단계에 걸쳐 정확한 오버레이 ..

그런포스, 자동화 위한 산업용 이더넷 프로토콜 지원

홍보영 기자 2015.03.08

비용 효율적인 공정 자동화를 위해 PROFINET IO, Modbus TCP, BACnet/IP처럼 통합적인 산업용 이더넷(IE) 인터페이스를 갖춘 새로운 PLC 개발에 업계의 관심이 고조되고 있다. 새로운 PLC를 통해 지속적인 자동화 공정이 가능하고 이를 통해 제품 품질을..

공기방울 친환경 전기에너지 생산

강정수 기자 2015.03.07

공기방울을 이용한 첫 전기에너지 생산법이 등장해 향후 재생에너지원으로 활용 가능할 것으로 보인다. 적극적인 투자만 이루어진다면 5년 이내 가능할 것이라는 말도 나오고 있다. 국내 연구진이 공기방울의 움직임을 이용해 전기에너지를 생산하는 ..

신세현 교수, 정밀분석기술 마이크로칩 접목

이강은 기자 2015.03.05

심장병 및 뇌졸중 등의 혈관질환은 세계적으로도 제 1 사망원인으로 현대인의 건강사회를 위협하고 있으며 국내에서도 서구화된 생활패턴으로 급격히 증가하는 추세이다. 이러한 혈관질환의 기본 원인으로 혈소판의 활성화 및 응집력 변화가 포함돼 ..

[TECH NEWS]전기 없이 소리 10배 증폭 가능

홍보영 기자 2015.03.03

비파괴 검사를 적용한 IT 및 정밀 기계 생산 분야에서 초음파 이미징 기술은 결함 탐지에 이용된다. 이를 통해 항공기, 선박 등 크랙 탐지에 사용되었고 최근에는 반도체 기판 결함 탐지 등 응용범위가 확대되고 있다. 최근 인공구조물을 활용해..

[Tech] 전기·기계적 설계 엔지니어링 간 기술적 장벽 해소

산업일보 2015.03.02

새로운 EPLAN DSE(Design Space Exchange)가 공개됐다. DSE는 제어 캐비닛 및 수배전반을 구성하는데 있어 기구 설계 기술과 제어 시스템 기술 간의 데이터 교환을 지원한다. 제어 시스템이 포함된 비표준형 제어 캐비닛의 경우, 장비 및 설치에 필..