[히든스타] 메카로, ‘반도체 공정의 마지막은 우리 손으로’

[산업일보]
하나의 반도체를 세상에 내보내기 위해서는 셀 수 없이 많은 기술과 노력이 응집돼야 하는 것은 물론, 그 과정에서 티끌만한 실수라도 발견될 경우 모든 것이 도로아미타불이 되는 공정 때문에 반도체 산업은 정밀함과 첨단기술의 진수가 한 곳에 녹아들었다고 봐도 과언이 아니다.

2000년 하반기에 시장에 발을 내딛은 메카로는 올해 기존의 ‘메카로닉스’에서 한결 간결해진 ‘메카로’로 사명을 변경하면서 좀 더 많은 이들에게 다가가 그들의 입맛에 맞는 제품을 생산하기 위해 애쓰고 있다.

반도체 전문 업체인 메카로는 현재 LCD·LED에 모두 사용되는 ‘히터블럭’이라고 하는 열원을 발생시키는 일종의 히터를 생산하는 사업과 프리커서 ALD에 들어가는 원재료공급 사업부, 그리고 미래를 대비해 새로운 차기 먹거리를 준비하는 사업부 등 크게 3개 사업부로 이뤄져 있다.

메카로의 이재정 대표는 “히터블럭은 삼성과 하이닉스 모두에 납품하고 있으며, 프리커서는 하이닉스에만 납품하고 있다”고 언급한 뒤, “태양광 관련 사업 등 미래를 내다보고 새롭게 준비하는 아이템들이 있어서 현재 진행하는 사업 외에도 다양한 분야를 살펴보고 있다”고 말했다.

메카로는 이미 자사만의 다양한 기술을 보유하고 이를 활용해 다양한 분야에 적용하고 있다.

대표적인 기술은 ALD/CVD precursor 설계기술로, 이 기술은 나노 스케일의 고품질 금속, 세라믹 박막을 증착하기 위한 최적의 방법이며, 공정 및 장비에 부합되는 precursor의 설계는 공정의 성패를 좌우하는 기반기술이다. Precursor 설계 기술에서 가장 중요한 것은 증착하고자하는 나노 스케일 박막의 물성이 적합하도록 공정 메카니즘을 화학적으로 시뮬레이션한 뒤 실제 공정 장비에서 적용이 원활하도록 설계하는 것이다.

파트설계기술은 2D, 3D 설계 프로그램과 시뮬레이션 프로그램을 이용한 기능성 부품 및 장비의 설계 기술은 히터블럭/Shower head 등의 장비 부품을 비롯해, Chemical 화합물의 보관용기인 캐니스터 및 가열 기화 장치인 heating 모듈과 원료의 중앙공급장치 구현에도 적용 가능하다.

아울러 히터블럭 표면을 AlF coating하는 기술인 표면처리 기술로 CPR8, VECTOR 12 히터 표면에 NF3 Plasma gas를 이용해 AlF coating 처리하는 것도 가능하다.



이 대표는 “메카로는 일단 품질 측면에서 고객과 개선과 관련된 아이템 교류를 통해 고객이 원하는 방향으로 품질 업그레이드 시키고 차별화된 제품을 시장에 선보임으로 타 업체와의 경쟁에서 우위를 점하고 있다”며, “고객사에서도 특정 공정에서는 경쟁사 제품을 안쓰고 우리 제품만 쓰기도 하는 등 품질이나 제품의 기술력에서 앞서는 것이 입증됐다”고 말했다.

연 매출의 7~8%정도를 R&D에 투자하는 메카로의 이 대표는 “반도체/ FPD의 CVD또는 ALD공정 분야에서 지속적인 신기술개발 투자를 진행했으며 연구인력의 양성 및 효율적인 시스템구축에 전념해 최고의 기술개발력을 갖춘 역량있는 기업으로 성장해 왔다”고 언급한 뒤, “차세대 반도체 산업의 주역으로 거듭나고자 전 임직원이 긴장속에서 항상 전력을 다하고 고민해 무적의 경쟁력을 가진 기업으로 진화하기 위해 노력 중”이라고 포부를 밝혔다.