[산업일보]
반도체 제조 공정, 물류 보관 창고 등에서 제품 이송을 자동화하는 시스템이 산업통상자원부가 주최하고 한국기계산업진흥회가 주관한 ‘2022 한국산업대전(DTon)’에 전시됐다.
행사장에서 채종현 캔탑스 과장은 자동화 물류 이송을 시연하는 중이라며, 해당 시스템 구축에 필요한 부품을 생산해 납품하고 있다고 말했다.
반도체 웨이퍼를 옮기는 이송 장치(OHT, Overhead Hoist Transfer)와 RFID(Radio Frequency IDentification)에 대해 설명한 그는 “컨트롤 보드를 통해 OHT의 움직임을 제어하고, 반도체 웨이퍼가 담긴 캐리어의 정확한 위치는 RFID 리더(Reader)로 추적하는 방식”이라고 설명했다.
PIO(Parallel Input Output) 센서는 반도체 웨이퍼의 존재 유무를 확인해 OHT에 알리는 역할을 한다. 반도체 웨이퍼 캐리어(Carrier) 위에 다른 제품을 올리지 않기 위해서다.
채 과장은 “예를 들어, 반도체 웨이퍼가 포트(Port)에 내려오면 1번 LED가 켜진다”며 “이는 반도체 웨이퍼를 담은 캐리어가 있다는 것을 의미한다”고 부연했다.
이어 OHT가 합류하는 구간에서 서로 부딪힘을 방지하는 사물인터넷(IoT) 시스템, 물류 자동화에 필요한 스토커(Stocker) 제어기, 질소(N2) 제어 솔루션 등을 소개했다.
2022 한국산업대전은 18일부터 21일까지 일정으로 경기도 고양시 킨텍스(KINTEX) 1전시장에서 열렸다.