[포토뉴스]기체 유입 ‘꽉’ 막는 진공밸브 기체 성분 완벽히 차단·제어…압력 바뀌어도 버티는 기술 필요 ‘세미콘 코리아 2024’에서 반도체 챔버의 진공을 유지하는 ‘진공 밸브’가 참관객의 관심을 끌었다.‘챔버’는 반도체 웨이퍼를 가공하는 공간이다. 웨이퍼가 들어가면 챔버 내부는 진공 상태가 되고, 그 안에서 특수가스를 활용해 박막을 씌우거나 깎아낸다. 진공 밸브는 챔버의 진공을 유지하는 ‘문’ 역할을 한다. 업체 관계자는 “진공 밸브는 일반적인 밸브보다 기체 성분을 거의 완벽히 차단하거나 제어해야 하고, 압력의 방향이 바뀌어도 버틸 수 있는 복잡한 기술이 필요하다”라고 설명했다.또한 “진공 밸브는 진공 장치를 사용하는 공정에 대부분 들어간다”면서 “국내 반도체 기업의 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition), 원자층 증착(Atomic Layer Deposition) 공정에서 활용하고 있다”라고 밝혔다.한편, 삼성동 코엑스에서 진행된 ‘세미콘 코리아 2024’는 2일 폐막했다.

[포토뉴스]기체 유입 ‘꽉’ 막는 진공밸브

기체 성분 완벽히 차단·제어…압력 바뀌어도 버티는 기술 필요

기사입력 2024-02-02 18:31:32

진공 밸브

진공 밸브 살피는 참관객

[산업일보]
‘세미콘 코리아 2024’에서 반도체 챔버의 진공을 유지하는 ‘진공 밸브’가 참관객의 관심을 끌었다.

‘챔버’는 반도체 웨이퍼를 가공하는 공간이다. 웨이퍼가 들어가면 챔버 내부는 진공 상태가 되고, 그 안에서 특수가스를 활용해 박막을 씌우거나 깎아낸다.

진공 밸브는 챔버의 진공을 유지하는 ‘문’ 역할을 한다. 업체 관계자는 “진공 밸브는 일반적인 밸브보다 기체 성분을 거의 완벽히 차단하거나 제어해야 하고, 압력의 방향이 바뀌어도 버틸 수 있는 복잡한 기술이 필요하다”라고 설명했다.

또한 “진공 밸브는 진공 장치를 사용하는 공정에 대부분 들어간다”면서 “국내 반도체 기업의 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition), 원자층 증착(Atomic Layer Deposition) 공정에서 활용하고 있다”라고 밝혔다.

한편, 삼성동 코엑스에서 진행된 ‘세미콘 코리아 2024’는 2일 폐막했다.

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기체 성분 완벽히 차단·제어…압력 바뀌어도 버티는 기술 필요

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