일본 필라(PILLAR)의 중국 판매 법인인 필라 상하이(PILLAR Shanghai Co., Ltd.)가 10월 27일부터 29일까지 중국 선전 국제컨벤션센터에서 열린 ‘필름&테이프 선전 2026’에 참가해 약액 이송 및 설비 밀봉용 핵심 부품을 선보였다.
반도체 세정 공정 겨냥한 불소수지 피팅·펌프 제시
필라 상하이는 이번 전시에서 반도체·디스플레이 제조설비의 약액 이송 및 순환 계통에 특화된 부품을 집중 조명했다.
대표 적용 사례로 웨이퍼 세정 공정을 제시한 필라 측은 약액과 직접 접촉하는 피팅(배관 연결구)과 펌프에 불소수지를 채택해, 높은 내약품성과 청정도가 요구되는 공정 환경에 대응하고 있다고 설명했다.
필라가 제시한 적용 사례는 웨이퍼 세정 공정이며, 약액과 접촉하는 피팅과 펌프에 불소수지를 적용해 내약품성과 청정성이 요구되는 이송 환경에 대응한다고 설명했다.
회전 장비와 배관의 누출 방지
현장에서 만난 필라 상하이 영업부 왕성쿠이(Wang Shengkui) 담당자는 “산업설비에서는 유체 누출 위험 부위에 따라 최적화된 밀봉 부품을 적용해야 한다”며 “펌프 회전축 주변을 막는 메커니컬 씰부터 밸브 축용 글랜드 패킹, 배관 접합면의 가스켓까지 설비 전반의 누출 방지 라인업을 공급하고 있다”고 밝혔다.
한편, 올해 ‘필름&테이프 선전’은 ‘C-TOUCH & DISPLAY’ 등 8개 전문 전시회와 통합 개최돼 전자 제조 및 첨단 소재 산업 전반의 기술 동향을 다뤘다.